1）沖擊作用。工具頭在垂直于加工表面的方向上作超聲振動(dòng)，迫使磨料顆粒以很大的速度和加速度沖擊工件表面。
2）磨蝕作用。工具的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)磨粒做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，類似于磨削過程，主要作用是使磨粒具有切向力作用，起到切削工件和清除工件表面各種碎屑的作用。
3）空化作用。工具頭做高頻振動(dòng)，使磨料懸浮液產(chǎn)生空化作用，加劇了磨粒對工件材料的沖擊破裂和去除。
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作者：『未知』 來源：『技術(shù)部』